第1回ミニマルファブ･シンポジウム

「21世紀型生産システムの開発」

日時：2013 年7 月3 日（水）13:00 ～ 19:00　（懇親会17:50 ～ 19:00）
場所：コクヨホール　（東京・品川）
主催：ミニマルファブ技術研究組合
共催：産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会

開催報告

7月3日に開催いたしましたミニマルファブシンポジウムでは、420名もの方々にご参加を賜りました。 基調講演、ミニマル講演、ポスター展示と装置動作デモ、パネルディスカッションとも皆様にご好評頂きました。

ミニマル装置の実用版の原型をセミコンジャパン2010に展示してから、早数年が経ちます。実際の開発は地道に進んでおりますが、それを受け止める皆様のマインドは大きく明るさを増しています。何が2010年と違うのかについて、このところ強く思いますのは、開発が点から面に広がってきているということです。開発の輪が広がり、前工程の主要装置開発がほぼ全種で着手されています。後工程についても、いくつかの開発チームが出来つつあり、部分的ですが開発も進み出しました。今後は、前工程装置開発を加速しデバイスづくりへと仕事を進めて行かなければなりません。

皆様の広い応援、ご参画は不可欠です。
どうぞ、今後とも皆様のご指導ご鞭撻のほど、よろしくお願い申し上げます。

ミニマルファブ技術研究組合 開発プロジェクトリーダ
産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会 代表　　原 史朗

開催報告

ご挨拶

半導体産業の抱える工場投資・開発投資の巨大化の課題、そして研究と生産が乖離し、ナノテクなど研究成果を生産システムへ導入できなくなっている、 いわゆる死の谷の問題、それらに対して、一つの解答を与えるのが、ミニマルファブです。ミニマル(minimal)とは、必要最低限で済むという意味を持っています。 ミニマルファブでは、ハーフインチウェハを用いてデバイスを作成します。その製造装置は、30cm 幅の小さなものとします。ミニマル製造ラインでは、 単一品種を製造し、多品種を同時に扱う場合は、ラインをその品種数分用意します。投資額は、 メガファブの1/1000 規模で、生産量も1/1000 であり、小規模マーケット、試作ライン、および規模が変動しやすいマーケットに適しています。

広くミニマルファブ構想とその開発状況を知って頂き、また包括的に議論させて頂くために、ミニマルファブ技術研究組合では、 産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会との共催で、本シンポジウムを開催いたします。是非、皆様のご参加をお待ち申し上げております。

ミニマルファブ技術研究組合 開発プロジェクトリーダ
産総研コンソーシアム・ファブシステム研究会 代表　　原 史朗

プログラム

パンフレット・ダウンロード(184 KB)

（プログラムは調整中ですので、今後変更される可能性があります）

13:00 ～ 13:10 開会の辞
13:10 ～ 13:40

基調講演「MEMS 開発の現状と今後の方向性」

江刺 正喜

東北大学原子分子材料科学高等研究機構 (WPI-AIMR) 教授( 兼)
マイクロシステム融合研究開発センター (μSIC ) センター長
江刺 正喜氏

＜講演概要＞
MEMS (Micro Electro Mechanical Systems) は、チップ上に回路だけでなくセンサなどの異種要素を集積化することによって、 高付加価値の部品を作る技術である。圧電スイッチやフィルタなど今までできなかった要素を集積化する研究などを紹介する。

13:40 ～ 14:10

基調講演「“MORE THAN MOORE” が半導体の世界を拡げる」

高須　秀

ローム株式会社　常務取締役
高須　秀視氏

＜講演概要＞
アクティブ機能を持つ新材料の組み入れ、メカ/ バイオ等の異分野技術との融合が半導体の世界を拡げ、 より複合化した機能を実現している。多彩な材料/ プロセスの組み合わせが要求されるので、ミニマルファブ的アプローチが期待される。

14:10 ～ 14:40

ミニマルファブ講演「ミニマルファブ構想 ～コンセプトとビジネスターゲット」

産総研、ミニマルファブ技術研究組合 開発プロジェクトリーダ 原 史朗
14:40 ～ 15:10

ミニマルファブ講演「ミニマルプロセス装置の詳細とリソグラフィ」

産総研、ミニマルファブ技術研究組合 プロセス開発チームサブリーダ クンプアン ソマワン
15:10 ～ 16:10

ポスターセッション
16:10 ～ 17:40

パネルディスカッション「ミニマルで創る新しい産業」
17:50 ～ 19:00

懇親会

参加登録

ご好評につき満席となりましたので、一般のご登録受付は終了させて頂きました。
お問い合わせ、どうも有難うございました。

※ファブシステム研究会関係者はこちらからご登録下さい。
なお、ファブシステム研究会およびミニマルファブ技術研究組合のメンバーのうち、 運営スタッフ、ポスターなどの発表予定者、デモ対応予定者は別途ご案内しますので、 上記研究会向け登録ページからの登録をなさらないでください。

会場アクセス

コクヨホール（東京・品川）
JR品川駅港南口（東口）を出て徒歩5分。
〒108-8710　東京都港区港南1丁目8番35号 コクヨショールームサービス株式会社


より大きな地図で コクヨホール｜アクセスマップ を表示

コンタクト

第1回ミニマルファブ・シンポジウム事務局（株式会社セミコンダクタポータル）
Tel: 03-3560-3565
E-mail: minimal_2013@semiconportal.com

リンク