ESH チュートリアル セッション
対象:
地球に優しい環境課題に対する意識が高まる事によりCSR(企業の社会的責任)が求められています。 半導体製造における環境負荷低減、限りある資源保全への貢献を通じ企業ブランドの向上を視野に新たなビジネス展開を探ります。
講師:
Farhang Shadman教授
アリゾナ大学指導教授 化学工学と環境工学
Farhang Shadman教授は1972年にカリフォルニア大学バークレー校にて博士号取得。
現在はアリゾナ大学の化学工学と環境工学の指導教授、 Engineering Research Center for Environmentally Benign Semiconductor Manufacturing（環境にやさしい半導体製造のためのエンジニアリングリサーチセンター）顧問を務めています。 SEMATECHにおいては、半導体製造の欠陥管理センターの創設者であり、現在も顧問を勤めています。また、米国化学工学会のフェローでもあります。
110以上の雑誌記事、書籍等を執筆し、21の特許/発明を保持しています。SAI 井上 晧賞(2002)、Landmark Innovation award(2000)、 SRC/Sematech/SIA Excellence in Research Award(1998および1992)、発明賞(SRC 1991と1992)を受賞しています。
SUSTAINABILITY AND ESH ASPECTS OF ADVANCED SEMICONDUCTOR MANUFACTURING
高度半導体製造における、サステナビリティとESH
各40分の3つのショートコースからなり、それぞれのセッションで10分間の質疑が行われます。
パート1:
高度な半導体製造のESHに関する一般課題
現在・過去・未来のESHチャレンジとチャンス
半導体製造に関する、サステナビリティの技術視点
ESH課題による技術ブレークスルーの例
新規技術開発へのESHの編入のタイミングと戦略
パート2:
現代の工場に資源(水、エネルギーと化学物質)の使用削減のためのテクノロジーに関する話題
様々な資源私用での相互関係
水の使用削減・リサイクル・再使用の比較と最適化
資源使用量削減に関する新しい技術
パート3:
ナノ-エレクトロニクスの清掃に関連した具体的な挑戦と機会
マイクロからナノスケール製造に以降する際に予想される課題の特殊性
環境に対する、良い影響と悪い影響
現在と将来のナノ-製造におけるESH解決策の最新開発について