新着情報
NEW! AEC/APC Symposium Asia 2017の開催が決定しました。2017年11月15日（水）に学術総合センターにて開催されます。ご予定下さい。
AEC/APC Symposium Asia 2015 報告
11月11日に開催されましたAEC/APC Symposium Asia 2015では世界6か国より約200名のご参加を頂戴し盛況に終了致しました。
皆様のご支援、ご協力に心より感謝申し上げます。
AEC/APC Symposium Asia 2015 Best Paper Award
[PO-O-12]
New Equipment Monitoring Method Using Impedance Measurements
Yosuke Inoue Renesas, Semiconductor Manufacturing
AEC/APC Symposium Asia 2015 Student Award
[DA-O-34]
Applications of machine learning and data mining methods for advanced equipment control and process control
YiFan WANG, Yuri Ishizaki, University of Tsukuba
AEC/APC Symposium Asia 2015 Poster Award
[MT-P-36]
Detection of wrong assembly in equipment maintenance with EES data
Daisuke Tokiwa, Toshiba
AEC/APC Symposium Asia 2015 について
AEC/APC Symposiumは、デバイス、装置、材料、ソフトウエア、センサー、メトロロジーメーカーが一堂に会し、装置・プロセスの自動診断・最適化を通じて、よりインテリジェントで高効率な生産システムの構築を議論する場を提供しています。世界3箇所で開催され、アジアでは台湾、2007年には日本にて初開催されました。以後、日本では奇数年に開催されています。
科学的半導体生産技術の核とも呼べるAEC/APCは最先端LSI製造分野における生産性及び歩留まり向上の鍵を握る重要な要素として、近年著しい成果が生まれています。また、LCDやPV分野などのプロセス産業に広く利用できる技術です。
国内外の専門家が高度な開発の成果を発表し、AEC/APC分野における知識や技術を切磋琢磨する場になる他、半導体をはじめとするプロセス産業におけるプロフェッショナルが出会う場として、技術的交流を深める絶好のチャンスです。
世界の生産技術の核ともなっているこの分野において、日本でも、プロセス制御性向上、設備生産性向上、資材費低減活動などに新たな方向性を見出す機会を提供する本シンポジウムの位置づけは非常に重要です。
Sponsored by: |
|
| Supported by: |
|
| In conjunction with: |
プラズマエレクトロニクス講習会（応用物理学会） |
Contact Us
AEC/APC Symposium Asia 2015事務局
（株式会社セミコンダクタポータル内）
〒106-0041
東京都港区麻布台2-4-5 メソニック 39MTビル 4F
Tel. 03-5733-4971 Fax. 03-5733-4973
