AEC/APC Symposium Asia 2023

アブストラクト

Session chair : 平井　都志也 (KOKUSAI ELECTRIC)

9:45	Opening Remarks from AEC/APC Asia 西村　英孝ルネサスエレクトロニクス
9:50	プログラムアウトライン柿沼　英則キオクシア
9:55	Tutorial-1 [ ONLINE ] 人工知能・機械学習による実践的な分子・材料・プロセスの設計およびプロセス管理金子弘昌明治大学

Session chair : 田中　尚人 (東京エレクトロン)、黒澤　敬 (アズビル)

10:40	GX-018 [ ONLINE ] Smart Subfab Transformation using Context-Based Control Holland Smith インフィコン View Abstract
11:00	PTL-013 Unified Platform for detecting faults governed by Process Controls Vishali Ragam アプライドマテリアルズ Applied Materials View Abstract
11:20	DA-016 Mixed-type Defect Pattern Classifications Takumi Maeda 筑波大学 View Abstract
11:40	YM-009 画像生成モデルを用いた未知パターンの不良ウェハマップ分類に関する一検討 Seima Sakaguchi 三重大学 View Abstract

12:00

展示・昼食

Session chair : 柿沼　英則 (キオクシア)

13:00

Keynote

コンピューティングの未来 - ビット/ニューロン/キュービット -
山道新太郎
日本アイ・ビー・エム東京基礎研究所

Session chair : 槌谷　孝裕 (ユナイテッド・セミコンダクター・ジャパン)、田中　知哉(タワーパートナーズセミコンダクター)

13:45	PTL-007 Machine Learning Based Virtual Metrology for Effective Process Control in High Product Mix Manufacturing Hyung Joo Lee Siemens EDA View Abstract
14:05	PTL-019 低開口率エッチングの終点検出のためのRFモニタリング方法 Chuhua Song インフィコン INFICON View Abstract
14:25	PTL-008 Comparison of Numerical Method with Prefixed Profile and Machine Learning-based Method for Wet Etching Amount Prediction Chihiro Matsui 東京大学 View Abstract
14:45	DA-012 パワートランジスタの特性ばらつきの母集団推定と回路シミュレーションへの応用 Haruka Fukumoto ローム View Abstract
15:05	DA-017 後工程における機械学習を用いた不良率予測 Yumiko Miyaji ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング View Abstract

15:25

展示・コーヒーブレイク

Session chair : 三宅　賢治 (オフィス三宅)

15:45

Tutorial-2

チップレット集積技術
栗田洋一郎
東京工業大学

Session chair : 土山　洋史 (インフィコン)、澁木　俊一 (ソニーセミコンダクタマニュファクチャリング)

16:30	DA-011 故障予知機能を搭載したインテリジェントモータバルブ Hiroyuki Kawazato 伸和コントロールズ View Abstract
16:50	MEP-010 Development of Versatile Fault Detection Using Image Sensors Takuya Sugiura ルネサスエレクトロニクス View Abstract
17:10	DA-014 Anomaly detection of semiconductor manufacturing equipment by cluster analysis Yuki Shiga KOKUSAI ELECTRIC View Abstract
17:30	PTL-015 Root Cause Analysis of Plasma Processes Perturbation using Optical Emission Spectroscopy Signals with Modified Autoencoder Jaehyeon Kim Sungkyunkwan Univ. View Abstract